Der Atemgasfluss (Flow) ist definiert als das pro Zeiteinheit strömen- de Atemgasvolumen und wird in Liter/Minute oder Liter/Sekunde, die Zeit in Sekunden angegeben. Vereinfacht kann der Inspirationsflow auch als Maß für die Geschwindigkeit, mit der das Atemgas verabreicht wird, definiert werden.